ZnO∶Al绒面透明导电薄膜性能研究

• 作者: 孙建 熊强 耿新华 薛俊明 赵颖 马铁华 黄宇
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 凝聚态物理学 中频脉冲磁控溅射 ZnO∶Al薄膜 绒面 溅射功率 工作气压
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 504-508
• 页数: 5页
• 分类号: TM914.4+2
• 字数: 2856字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1093.2008.04.026

摘要

利用中频脉冲磁控溅射方法,以掺杂质量2%Al的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO∶Al(ZAO)薄膜,利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在一定浓度的稀盐酸中浸泡一定时间,使其形成表面凹凸起伏的绒面结构.研究了溅射功率、工作压力、腐蚀时间以及溶液浓度对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析.结果表明:低功率、低气压、腐蚀时间20s、溶液浓度0.5%的条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在应用前景.