金刚石薄膜紫外光探测器电流-电压特性的研究

• 作者: 唐可 夏义本 王林军 祝雪丰 胡广 马莹 黄健
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 紫外光探测器 晶粒尺寸 电学性能
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 光电子器件及显示技术
• 页码范围: 1405-1408
• 页数: 4页
• 分类号: TL814
• 字数: 2695字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2008.05.001

摘要

采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了1.8 μm、2.5 μm和3.1 μm三种晶粒尺寸的金刚石薄膜,并制作了共平面光电导探测器.采用光学显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌.电流-电压(I-V)特性测试结果表明,探测器性能与金刚石薄膜晶粒大小密切相关,随着晶粒尺寸的增加,光电流/暗电流之比以及净光电流均提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王林军	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	109	441	11.0	14.0
2	胡广	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	5	4	1.0	1.0
3	祝雪丰	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	5	4	1.0	1.0
4	黄健	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	17	28	3.0	4.0
5	马莹	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	8	7	1.0	2.0
6	唐可	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	4	12	2.0	3.0