圆柱形和椭球形谐振腔式MPCVD装置中微波等离子体分布特征的数值模拟与比较

• 作者: TANG Wei-zhong WANG Feng-ying 吕反修 郭会斌
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 微波等离子体 FDTD方法 数值模拟
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 页码范围: 895-900,907
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 字数: 4089字
• 语种: 中文

摘要

在使用简化的等离子体放电模型的基础上,模拟了圆柱形和椭球形谐振腔式微波等离子体金刚石膜沉积设备中,不同金刚石膜生长条件下微波等离子体的分布状态.对不同的微波输入功率、不同气体压力条件下,两种谐振腔式设备中形成的等离子体分布的变化规律进行了模拟.模拟结果表明,椭球形谐振腔的质量因子要高于圆柱形谐振腔;并且,椭球形谐振腔更适合用于高功率、高压力的金刚石膜沉积环境.这意味着,使用椭球形谐振腔,可获得更高的金刚石膜生长速率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	郭会斌	北京科技大学材料科学与工程学院	6	65	4.0	6.0
3	WANG Feng-ying	北京科技大学材料科学与工程学院	1	16	1.0	1.0
4	TANG Wei-zhong	北京科技大学材料科学与工程学院	1	16	1.0	1.0