电容式微加速度计的研制

• 作者: 卢桂章 苏卫国 谭宜勇 赵新 金桐
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 电容式微加速度计 虚拟工艺 虚拟运行
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 585-588
• 页数: 4页
• 分类号: TH824
• 字数: 2344字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.013

摘要

以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试.首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢桂章	南开大学机器人与自动化研究所	86	1727	19.0	39.0
2	赵新	南开大学机器人与自动化研究所	57	583	11.0	21.0
3	苏卫国	北京大学微电子所	4	23	2.0	4.0
4	谭宜勇	南开大学机器人与自动化研究所	7	29	4.0	5.0
5	金桐	南开大学机器人与自动化研究所	2	13	2.0	2.0