绘制硅单晶电阻率等值线的Mapping技术

• 作者: 叶威 孙以材 张鹏 杨茂峰 潘国峰
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: mapping技术 硅单晶 绘制电阻率等值线
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1281-1285
• 页数: 5页
• 分类号: TN307
• 字数: 843字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.07.011

摘要

用斜置式四探针测定了硅单晶片(Ф75mm)上3mm间距测试点的电阻率分布.本文从电阻率的统计分布出发,确定了电阻率的分隔数和差值,采用指数函数作为模糊集的隶属度,并且选择合适的门槛值,利用模糊数学将电阻率数据归类于不同的模糊集.同一模糊集对应相同的电阻率,这样使电阻率能以一定的间隔分布,然后结合MATLAB软件画出电阻率等值线,以构成Mapping图.在同一等电阻率线条上各点具有较小的阻值偏差,且剩余未连接点少.连接质量好,可以应用于指导实际生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子研究所	117	1247	18.0	31.0
2	潘国峰	河北工业大学微电子研究所	70	462	10.0	18.0
3	杨茂峰	河北工业大学微电子研究所	1	2	1.0	1.0
4	叶威	河北工业大学微电子研究所	1	2	1.0	1.0
5	张鹏	天津农业科学院信息研究所	1	2	1.0	1.0