TiN/Ti多层膜调制比对摩擦磨损行为影响的研究

• 作者: 张晨辉 徐军 邵天敏 龚海飞
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiN/Ti 多层膜 层状结构 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 758-762
• 页数: 5页
• 分类号: TH117
• 字数: 2941字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2008.04.025

摘要

考察了TiN/Ti多层膜调制比对其摩擦磨损行为的影响.采用磁过滤阴极弧沉积的方法制备了具有不同调制比的TiN/Ti多层膜,用扫描电镜和透射电镜对其层状结构及子层结构进行了观察和分析.用纳米压痕和SRV摩擦磨损试验的方法,对多层膜进行了纳米硬度和弹性模量测试以及摩擦磨损实验.结果表明,所制备的TiN/Ti多层膜层状结构清晰,与基底结合良好,调制比对多层膜的硬度和磨损特性影响较大,而对摩擦系数的影响却小明显.结合实验结果,讨论了硬度与弹性模量的比值(H/E值)对TiN/Ti多层膜耐磨性的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵天敏	清华大学摩擦学国家重点实验室	38	479	13.0	20.0
2	张晨辉	清华大学摩擦学国家重点实验室	13	168	5.0	12.0
3	徐军	清华大学摩擦学国家重点实验室	58	727	15.0	24.0
4	龚海飞	清华大学摩擦学国家重点实验室	3	55	3.0	3.0