5.36μm InP基一维光子晶体量子级联激光器

• 作者: 刘俊岐 刘峰奇 李路 王占国 邵烨
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 量子级联激光器 光子晶体 准连续波
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1278-1280
• 页数: 3页
• 分类号: TN365
• 字数: 355字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.07.010

摘要

制作了基于InP基量子级联激光器的一维光子晶体.采用普通光学曝光的方法代替电子束曝光,结合反应耦合等离子刻蚀,在激光器的一侧腔面制作出4个周期的空气/半导体对作为Bragg反射器.对于一个22μm宽,2mm长的正焊器件,80K下的光谱测试证实了其准连续激射,激射波长为5.36μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘峰奇	中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室	25	171	8.0	12.0
2	刘俊岐	中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室	12	35	4.0	5.0
3	王占国	中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室	101	701	15.0	23.0
4	李路	中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室	7	24	3.0	4.0
5	邵烨	中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室	3	6	1.0	2.0