化学气相沉积技术的研究与应用进展

• 作者: 杨玉华 杨西
• 来源期刊: 甘肃水利水电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 应用 发展
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 211-213
• 页数: 3页
• 分类号: TG156.8
• 字数: 4423字
• 语种: 中文

摘要

论述了化学气相沉积(CVD)技术的基本原理、特点和最新发展起来的具有广泛应用前景的几种CVD新技术,同时分析了化学气相沉积技术的发展趋势,并展望其应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨玉华	兰州交通大学化学与生物工程学院	16	385	7.0	16.0
2	杨西	兰州交通大学化学与生物工程学院	10	180	4.0	10.0