热处理工艺对Sol-gel法制备BST薄膜性能的影响

• 作者: 刘敬 周宗辉
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: BST Sol-gel 热处理工艺
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 试验与技术
• 页码范围: 1274-1277
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2205字
• 语种: 中文

摘要

以醋酸锶、醋酸钡和钛酸四丁酯为前驱体原料,采用溶胶-凝胶(Sol-gel)法,利用旋转涂覆工艺,采用不同的热处理工艺制备了组分为Ba/Sr=0.65/0.35的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜.采用XRD、SEM和阻抗分析仪分析薄膜的结晶、表面形貌和介电性能.研究了不同热处理工艺对BST薄膜晶化行为、结构和性能的影响.结果表明,最佳热分解温度和时间为400 ℃和30 min,最佳升温速率为0.5～1 ℃;经650 ℃热处理后,BST薄膜已基本形成ABO3型钙钛矿结构,随着热处理温度的提高,薄膜的结晶程度提高,且沿(110)晶面择优取向.经750 ℃热处理的BST薄膜表面光滑致密无裂纹,颗粒均匀分布,晶粒发育较好,且介电性能最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周宗辉	济南大学材料科学与工程学院	53	530	12.0	22.0
2	刘敬	济南大学材料科学与工程学院	3	6	1.0	2.0