微纳米尺度红外光热膨胀效应及新型光热驱动方法研究

• 作者: 刘超 张冬仙 章海军
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光热膨胀 非对称结构 微驱动器 红外激光
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 3107-3112
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3676字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.05.077

摘要

介绍了一种新型的基于非对称结构的光热微型驱动器.驱动器由两个宽细不同的薄悬臂组成.当红外激光照射在悬臂上时,宽窄悬臂的比表面积不同,导致其温度升高和伸长量不同,从而使驱动器产生偏转.建立了驱动器的热力学模型,并给出了偏转量的计算公式.使用准分子激光加工系统制作了一个长750靘的微驱动器样机,红外激光(998nm)作为驱动源,利用自制的控制监控系统进行了可行性试验,观察并测量了驱动器偏转量与红外激光功率的关系.结果表明,本驱动器在16mW的红外激光的驱动下,即可产生25.8靘的偏转量.利用光热膨胀的方法实现的驱动器制作简单,位移输出可调,无电磁干扰,易于集成,并可以实现远程控制,在微纳技术和MEMS领域具有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张冬仙	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	39	321	10.0	16.0
2	章海军	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	53	454	12.0	18.0
3	刘超	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	66	663	12.0	24.0