微通道板清洗设备研制

• 作者: 丛晓庆 严诚 张正君 王益军 王锐廷 苏德坦
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微通道板 湿法清洗 工艺模块 设备研制
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(半导体先进的加工设备)
• 页码范围: 208-211
• 页数: 4页
• 分类号: TN223
• 字数: 4377字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.03.007

摘要

基于微通道板的清洗工艺,设计了清洗设备的结构,并对设备的核心部件详细说明.利用液体射流喷射实现喷淋清洗,采用液体液下喷射循环实现液体的紊流,减少了搅动和传动系统为系统带来的复杂性.利用超声和兆声双频率清洗实现了对MCP不同粒径腐蚀产物和污染物的清洗,工作槽斜底式设计和频率扫描改进槽内声场的均匀性,功率精度达到±10%.储液槽预热结合在线加热,使液体温度精度达±0.5℃,改善了MCP清洗主要工艺参数的稳定性和一致性,体现了湿法清洗的独创性和实用性,实现了清洗工艺过程的半自动化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严诚		10	70	4.0	8.0
2	张正君		6	17	2.0	4.0
3	苏德坦		8	51	4.0	7.0
4	王锐廷		3	9	2.0	3.0
5	丛晓庆		5	8	2.0	2.0
6	王益军	成阳师范学院物理系	1	3	1.0	1.0