MEMS压阻式加速度传感器的研究进展

• 作者: 耿振亚 聂丽梅 范树新
• 来源期刊: 采矿技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS压阻式加速度传感器 研究现状 发展趋势
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 机电装备与信息工程
• 页码范围: 120-121,147
• 页数: 3页
• 分类号: TD4
• 字数: 1599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-2900.2008.04.048

摘要

介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理,分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	聂丽梅	中国电子科技集团公司第四十九研究所	6	16	2.0	4.0
2	范树新	中国电子科技集团公司第四十九研究所	7	23	2.0	4.0
3	耿振亚	中国电子科技集团公司第四十九研究所	5	17	2.0	4.0