柠檬酸溶胶-凝胶法制备非晶YBCO薄膜

• 作者: 刘黎明 杨培志 杨明珠
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 钇钡铜氧 非晶薄膜 柠檬酸溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺技术与材料
• 页码范围: 324-327
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2850字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.04.013

摘要

采用柠檬酸溶胶-凝胶法(Pechini工艺)制备了钇钡铜氧(YBCO)溶胶,在SiO2/Si(110)衬底上生长了非晶YBCO薄膜.通过差热-热重分析得到了非晶YBCO薄膜的热处理务件.讨论了pH值对薄膜元素配比和表面形貌的影响,研究了薄膜结晶状态与退火温度之间的关系,获得了较为理想的薄膜制备工艺参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨明珠		4	33	3.0	4.0
2	杨培志		21	189	8.0	13.0
3	刘黎明		24	160	7.0	12.0