矿用压力传感器敏感元件温度漂移补偿技术

• 作者: 王秋蓉
• 来源期刊: 煤矿安全
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 敏感元件 温度补偿
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 技术经验
• 页码范围: 66-68
• 页数: 3页
• 分类号: TD605
• 字数: 1812字
• 语种: 中文

摘要

压力传感器敏感元件温度漂移是矿用压力传感器漂移的主要原因,文章列举了几种多晶硅压力传感器的温度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点,指出了更适合矿用压力传感器敏感元件的温度补偿方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王秋蓉		2	2	1.0	1.0