基于三维有限元法的MEMS毫米波滤波器设计

• 作者: 于伟华 吕昕 孙厚军 杨怀志
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 微机电 有限元法 滤波器 微屏蔽线
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 37-42
• 页数: 6页
• 分类号: TN713
• 字数: 3053字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1093.2008.01.009

摘要

基于三维有限元法设计毫米波微机电系统(MEMs)带通滤波器,可借助于CAD软件使整个滤波器设计流程更加方便快捷,结果与传统微尺寸结构的FDTD分析法基本一致.同时给出了一种简便的毫米波带通滤波器的MEMS加工方案,并针对该加工方案进行了关键参数的工艺误差仿真,为毫米波MEMS滤波器设计提供了一些有意义的理论及工艺分析,对于利用MEMS工艺制造的毫米波微尺寸无源器件设计也具有很大的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙厚军	北京理工大学信息科学技术学院	42	131	5.0	9.0
2	吕昕	北京理工大学信息科学技术学院	58	285	10.0	14.0
3	于伟华	北京理工大学信息科学技术学院	20	67	4.0	7.0
4	杨怀志	北京理工大学信息科学技术学院	3	1	1.0	1.0