飞秒激光微加工技术的评述与展望

• 作者: 周永恒 廖健宏 张庆茂 黄佑香
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 应用 微加工 进展
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 8-13
• 页数: 6页
• 分类号: TN249|TG665
• 字数: 6309字
• 语种: 中文

摘要

综述了飞秒激光微加工技术国内外的研究现状,介绍了飞秒激光微加工在光学、微电子及生物医学等领域的应用,展望了飞秒激光微加工技术未来发展的趋势以及需要解决的关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖健宏	华南师范大学激光加工实验室	24	353	12.0	18.0
2	张庆茂	华南师范大学激光加工实验室	60	548	15.0	22.0
3	周永恒	华南师范大学激光加工实验室	21	300	8.0	17.0
4	黄佑香	华南师范大学激光加工实验室	2	25	2.0	2.0