微光学陀螺波导谐振腔的优化设计

• 作者: 于怀勇 冯丽爽 杜哲峰 杨德伟 洪灵菲
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微光学陀螺 耦合器 谐振腔 硅基二氧化硅
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 504-508
• 页数: 5页
• 分类号: V241.59
• 字数: 3410字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.036

摘要

提出一种应用于微型光学陀螺的谐振腔的优化设计方案,优化设计方案同时兼顾微型光学陀螺精度要求与其系统微型化设计.光波导材料为传输损耗为0.01 dB/cm的硅基二氧化硅材料,有效的降低了谐振腔内部的损耗,使得谐振腔内损耗仅为0.5 dB,利于谐振腔的高精度;光波导结构采用准单模矩形结构,利用腔中的弯曲波导对一阶模的有效滤除实现了光的基模传输,利于谐振腔的小型化;此外分析了波导的传输损耗、波导耦合器分光比对谐振腔性能及陀螺极限灵敏度的影响,得出波导耦合器分光比的优化参数,并仿真得到谐振腔的谐振清晰度达到70以上.假定在激光光源线宽为30 kHz,探测器响应度0.95 A/W,积分时间为10 s的条件下,仿真得到系统的极限灵敏度为1.6°/h左右.最后实验验证了此优化设计方法是有效可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯丽爽	北京航空航天大学光电技术研究所精密光机电一体化技术教育部重点实验室	85	462	12.0	19.0
2	杨德伟	北京航空航天大学光电技术研究所精密光机电一体化技术教育部重点实验室	30	126	7.0	9.0
3	洪灵菲	北京航空航天大学光电技术研究所精密光机电一体化技术教育部重点实验室	12	75	5.0	8.0
4	于怀勇	北京航空航天大学光电技术研究所精密光机电一体化技术教育部重点实验室	13	81	5.0	9.0
5	杜哲峰	北京航空航天大学光电技术研究所精密光机电一体化技术教育部重点实验室	2	27	2.0	2.0