基于微热板表面离子化源的离子迁移率谱仪研究

• 作者: 何秀丽 李建平 贾建 郭会勇 高晓光
• 来源期刊: 分析化学
• 学科: 化学
• 关键词: 离子迁移率谱仪 表面离化 微机电系统工艺 三乙胺
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 仪器装置与实验技术
• 页码范围: 1597-1600
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 字数: 3359字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3820.2008.11.030

摘要

根据表面离化机理和离子迁移率谱检测方式,设计和制备了一种基于表面离化源的离子迁移率谱仪(IMS).表面离化源为采用微机电系统(MEMS)工艺加工的微热板阵列,除了作为离子产生器,还作为漂移管的一个离子栅,用以实现离子向漂移区的注入.测试了该IMS对三乙胺的响应特性并研究了离子注入时间对离子迁移率谱的影响.结果表明,基于微热板表面离化源的离子迁移率谱仪对三乙胺具有很好的动态响应特性,三乙胺浓度的平方根与离子峰面积具有较好的线性关系,检出限可达6×10-8(V/V).此外,与传统的放射离化IMS相比,这种IMS还具有离子注入时间短和离子迁移率谱基电流为零等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	251	4235	35.0	54.0
2	何秀丽	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	83	492	10.0	19.0
3	高晓光	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	52	248	9.0	13.0
4	贾建	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	43	151	7.0	9.0
5	郭会勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	6	42	3.0	6.0