基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型

• 作者: 熊斌 赵楷 车录锋
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS加速度计 Verilog-A模型 寄生电容 热机械噪声
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 942-945
• 页数: 4页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 2429字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.06.009

摘要

本文分析了传统MEMS电容式加速度计模型的不足,根据三明治结构电容式加速度计的特点,考虑了寄生电容和热机械噪声的影响,建立了用Verilog-A硬件描述语言实现的模型.该模型与主流集成电路设计环境相兼容,具有很强的可移植性.模拟验证结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,能够为设计单片集成的微弱电容检测电路提供有效的帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	54	412	11.0	16.0
2	车录锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	38	363	11.0	16.0
3	赵楷	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	1	7	1.0	1.0