平面等厚干涉仪校准方法探讨

• 作者: 何超琼
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 平面等厚干涉仪 标准平面平晶 互检法 环境条件 测量不确定度
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 检定与校准
• 页码范围: 56-58
• 页数: 3页
• 分类号: TH74
• 字数: 3441字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2008.02.017

摘要

本文作者提出了JJF 1100-2003平面等厚干涉仪校准规范中仪器示值误差计算公式存在的问题,并就其结构分类、校准方法和环境条件等作了进一步探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何超琼		2	2	1.0	1.0