超声波电机二维精密控制系统研究与实现

• 作者: 张焱 徐志科 胡敏强 邓卫平
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 超声波电机 精密控制 X-Y平台
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 77-79
• 页数: 3页
• 分类号: TM359.9
• 字数: 2865字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2008.05.022

摘要

采用超声波电机驱动的二维精密控制系统利用超声波电机的低速大转矩、响应快、断电自锁等特性,直接驱动二维精密平台,可获得很高的位移分辨率.利用上位机、DSP和编码器组成的闭环控制系统通过改变超声波电机驱动信号的调频实现精密控制.研制的二维平台以一对直径为60mm的超声波电机作为驱动元件,采用2 500 p/r编码器可获得100 nm的位移分辨率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡敏强	东南大学电气工程学院教育部伺服控制研究工程中心	250	7171	45.0	74.0
2	徐志科	东南大学电气工程学院教育部伺服控制研究工程中心	64	905	17.0	28.0
3	张焱	东南大学电气工程学院教育部伺服控制研究工程中心	10	67	5.0	7.0
4	邓卫平	东南大学电气工程学院教育部伺服控制研究工程中心	1	5	1.0	1.0