氧化锌薄膜生长与ZnO基薄膜晶体管制备

• 作者: 付国柱 常遇春 朱慧超 杜国同 杨小天 王超 荆海 金虎 马仙梅 马凯 高博 高文涛 齐晓薇
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 薄膜晶体管 MOCVD
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 液晶和其它非自发光显显示器
• 页码范围: 115-116
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.055|TN335
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2008.01.027

摘要

通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长ZnO薄膜.XRD测试显示出(002)晶面的强衍射峰,表明生长的ZnO 薄膜是主度的c轴取向.基于 ZnO 薄膜基础,我们制备了 ZnO 基薄膜晶体管.