槽栅型肖特基势垒静电感应晶体管

• 作者: 刘肃 李思渊 李海蓉 杨涛 王永顺
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电感应晶体管 V形槽 等离子体增强化学气相淀积 肖特基势垒
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 器件制造与应用
• 页码范围: 65-67
• 页数: 3页
• 分类号: TN386.3
• 字数: 2506字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.01.017

摘要

传统的静电感应晶体管多采用扩硼的方法制备栅极区,这种工艺热预算较高,使得工艺复杂程度和生产成本较高,基于此提出并设计了一种新型的槽栅型肖特基势垒静电感应晶体管.使用V形槽工艺,用溅射铝的方法代替扩硼工艺制备静电感应晶体管的栅极区,简化了工艺流程,使器件在调试过程中具有很大灵活性.使用PECVD(等离子体增强化学气相淀积)工艺,解决了槽栅结构静电感应晶体管的栅极区与源极区容易短路的问题.给出了详细的工艺流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永顺	兰州交通大学电子与信息工程学院	35	128	7.0	9.0
2	杨涛		1	1	1.0	1.0
3	刘肃		1	1	1.0	1.0
4	李思渊		1	1	1.0	1.0
5	李海蓉		1	1	1.0	1.0