RF MEMS开关吸合电压的分析

• 作者: 廖小平 董乔华 黄庆安 黄见秋
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS 开关 吸合电压 准静态 动态 阻尼
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 163-167
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 4438字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.01.031

摘要

吸合电压是MEMS静电执行器的重要参数,针对RF MEMS开关,详细分析了开关在不同执行方式下的吸合电压.对于执行电压是脉冲方式而言,开关梁受迫振动,不同于准静态方式,此时使开关发生吸合的执行电压为动态吸合电压,计算表明比准静态吸合电压小8%.通过简化的弹性系数和精确的电容计算公式,详细分析了基于CPW的双端固支梁开关的准静态和动态吸合电压.分析了环境阻尼对动态吸合电压的影响,阻尼使得开关的两种吸合电压差别变小.最后分析了射频输入功率对开关吸合电压的影响,射频输入功率会降低吸合电压,如果输入功率足够大,吸合电压将会降为零,此时MEMS开关会发生自执行失效.