微机电系统的现状与展望

• 作者: 张勇 张飞虎 陆敬予
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微细加工 展望
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 1-3,7
• 页数: 4页
• 分类号: TN301
• 字数: 2903字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.02.001

摘要

在过去20多年中,微机电系统(MEMS)已经从早期的技术开发、设备探索和实验室研究的阶段发展到当前的实际应用阶段,并逐渐扩展到许多新的研究和探索领域,MEMS已经成为21世纪最具潜力的研究领域之一.对MEMS进行了简要的介绍,包括MEMS应用,MEMS的市场情况,以及3种主要的MEMS微制造技术,即体微制造、面微制造和LIGA技术.最后,提出了MEMS将来研究和发展的趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张飞虎	哈尔滨工业大学机电工程学院	132	2251	25.0	41.0
2	张勇	哈尔滨工业大学机电工程学院	126	1376	20.0	31.0
3	陆敬予	哈尔滨工业大学机电工程学院	1	0	0.0	0.0