三极管粘片机S曲线加减速控制

• 作者: 吴小洪 姜永军 曹占伦 林晓新 袁喜林
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 加减速 S曲线 粘片机 二分法
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(半导体先进的加工设备)
• 页码范围: 197-199
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 1963字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.03.004

摘要

S曲线加减速运动控制是中高档三极管粘片机系统中的一项重要功能.对S曲线加减速度算法进行了研究,从三极管粘片机的运动控制流程工艺要求出发,设置系统不同的运动参数.运用二分法迭代的编程思维对时间控制和行程进行检测计算,给出了算法在三极管粘片机系统控制应用实例,计算结果表明,二分法的迭代计算是高效的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜永军	广东工业大学机电工程学院	13	80	5.0	8.0
2	林晓新	广东工业大学机电工程学院	7	38	4.0	6.0
3	吴小洪	广东工业大学机电工程学院	32	234	10.0	14.0
4	曹占伦	广东工业大学机电工程学院	9	36	4.0	5.0
5	袁喜林	广东工业大学机电工程学院	4	9	2.0	3.0