基于IP数据库的MEMS设计系统

• 作者: 卢桂章 王磊 谭宜勇 赵新
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS IP库 虚拟工艺 虚拟运行
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 357-360
• 页数: 4页
• 分类号: TH824
• 字数: 3340字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.043

摘要

针对MEMS设计系统中机械性能仿真不足、设计与加工脱节、缺少工艺验证等问题,借鉴了IC设计可重用思想,引入了具有知识产权的功能模块--IP的概念,提出了基于IP库的MEMS设计方法.该方法是Top-Down和Bottom-Up设计相结合的方法,其核心是MEMS IP库,关键技术包括IP库、虚拟工艺、虚拟运行等,分别对应IP管理、工艺级仿真系统以及器件行为级仿真系统.最后以电容式微加速度计设计为例,对双梁、四梁、疏齿等6种不同的结构分别进行了设计仿真、流水加工,封装和测试的过程,完成了器件从设计到成品的整个流程,验证了本文提出的设计方法和设计系统的有效性和正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢桂章	南开大学机器人与自动化研究所	86	1727	19.0	39.0
2	赵新	南开大学机器人与自动化研究所	57	583	11.0	21.0
3	王磊	南开大学机器人与自动化研究所	66	520	11.0	21.0
4	谭宜勇	南开大学机器人与自动化研究所	7	29	4.0	5.0