微型笔直写技术制备厚膜温度传感器阵列研究

• 作者: 曾晓雁 李祥友 胡乾午 蔡志祥
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 微型笔 温度传感器阵列 直写技术 热敏电阻
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 专题论坛·新一代片式元件
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: TM24
• 字数: 2432字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2008.09.006

摘要

利用微型笔直写技术,在Al2O3陶瓷基板上制备了4×4厚膜PTC热敏电阻温度传感器阵列.研究了驱动气压、笔嘴直径以及直写速度等对厚膜PTC热敏电阻线宽的影响,分析了微型笔直写PTC热敏电阻温度传感器的形成机理.目前微型笔在Al2O3陶瓷基板上直写的厚膜PTC热敏电阻线宽为130~400 ìm.高温烧结后其电阻温度系数?R为1 620×10-6/℃,在25~95 ℃之间电阻阻值随温度的变化具有良好的线性.