半导体炉管区E/T问题的动态调度算法

• 作者: 周炳海 潘青枝
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造 批处理 炉管 提前/延迟 加权成本率算法
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 现代管理
• 页码范围: 639-643
• 页数: 5页
• 分类号: TP29
• 字数: 3231字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.07.023

摘要

炉管区是半导体制造过程中用于热处理的重要区域.在多品种不同交货期的晶圆产品连续到达的环境下,提出了优化目标为极小化E/T(提前/延迟)值的WCRH(加权成本率)算法.该算法根据产品的交货期实时更新晶圆产品的加工优先级;通过计算和比较加权成本率来确定哪一种晶圆优先加工以及投入加工的时间.仿真结果表明,该算法在减小E/T值和缩短加工完成时间方面,优于文献中提及的启发式算法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周炳海	上海交通大学机械与动力工程学院	79	803	17.0	25.0
2	潘青枝	上海交通大学机械与动力工程学院	4	17	2.0	4.0