基于LTCC工艺的数字三轴加速度传感器的研制

• 作者: 刘俊 谭秋林 郭虎岗 马喜宏
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 数字传感器 加速度传感器 低温共烧陶瓷
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 80-82
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1|TN45
• 字数: 1922字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.03.025

摘要

将微机械加工工艺与混合集成技术相结合,设计并制作了具有RS422标准接口的数字三轴加速度传感器.采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺将敏感元件、信号调理电路、模数转换电路和接口电路集成于一体,集成后的体积为45 mm×45 mm×15 mm,实现了传感器的数字化、小型化和模块化,并大大提高了系统的测量精度和可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国家重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	谭秋林	中北大学电子测试技术国家重点实验室	71	327	10.0	15.0
3	马喜宏	中北大学电子测试技术国家重点实验室	25	93	5.0	9.0
4	郭虎岗	中北大学电子测试技术国家重点实验室	4	41	2.0	4.0