ControlNet技术在PECVD设备中的应用

• 作者: 井建辉 张延生 陈建辉 高凤岐
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 现场总线 ControlNet PECVD
• 年，卷（期）: 2008,（13）
• 所属期刊栏目: 控制系统
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: TP32
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2008.13.022

摘要

本文介绍了ControlNet总线技术特点,并将其应用到PECVD设备的控制系统中.试验结果表明,采用ControlNet总线控制技术,PECVD设备淀积薄膜的质量有明显地提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建辉	军械工程学院导弹工程系	59	347	9.0	15.0
2	张延生	军械工程学院导弹工程系	34	120	6.0	9.0
3	井建辉	军械工程学院导弹工程系	18	39	2.0	5.0
4	高凤岐	军械工程学院导弹工程系	51	211	7.0	12.0