机械振动对直拉法Si单晶生长的影响

• 作者: 庄力 李巨晓
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 直拉法 硅单晶 振动
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(晶圆生长及晶片制备技术)
• 页码范围: 304-307
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 3901字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.04.008

摘要

机械振动是直拉法单晶生长过程中不可避免的因素,影响单晶的正常生长.从生长机理方面看,传递到熔体的振动会引起熔体内对流的变化,对固-液界面的稳定性造成干扰,从而影响单晶的品质和无位错生长;从操作控制方面而言,熔体的振动会使引晶变得困难,也不利于等晶生长过程中的自动控制,造成了生产周期的相对延长,从而增加了生产成本.分析了实际生产过程中振动的来源及其对单晶生长的影响,并探讨了一些抑制振动的方法来消除这一影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李巨晓		2	13	2.0	2.0
2	庄力		1	9	1.0	1.0