可调谐微腔发光二极管微光机电系统悬臂梁的特性

• 作者: 关宝璐 杨浩 沈光地 邓军 郭霞 顾晓玲 高国
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学器件 可调谐微腔光子器件 微光机电系统 悬臂梁 有限元
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 245-248
• 页数: 4页
• 分类号: TN312.8
• 字数: 2319字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.02.018

摘要

采用微机械表面加工技术,成功设计并研制出具有GaAs基微光机电系统(MOEMS)悬臂梁结构的可调谐微腔发光二极管.对其工作特性进行了分析,测量得到悬臂梁载荷-位移关系曲线,并对微光机电系统悬臂梁可调谐微腔发光二极管进行调谐光谱测量.实验结果表明,在直流电流40 mA,调谐电压范围4～22 V时,波长从974.5 nm蓝移至956.9 nm,室温下波长调谐最大达到17.6 nm.在实验基础上,采用有限元方法对具有分布布拉格反射镜(DBR)结构的悬臂梁动力学特性进行了研究,模拟结果与实验结果吻合较好.当悬臂梁长度为400 μm时,最大位移达到411 nm,最大调谐电压达到24 V.