绒面结构ZnO薄膜及其表面处理

• 作者: 张德坤 张晓丹 耿新华 蔡宁 薛俊明 赵颖 陈新亮
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: MOCVD 绒面ZnO薄膜 湿法刻蚀 太阳电池
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 631-633
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1885字
• 语种: 中文

摘要

本文制备出(110)峰取向的绒面结构MOCVD-ZnO:B薄膜并提出CH3COOH湿法刻蚀的表面处理技术.研究表明,绒面结构ZnO:B薄膜具有"类金字塔"晶粒形状;处理前后ZnO:B薄膜的微观结构,方块电阻和光学性能变化不大.适当的表面处理有助于使薄膜表面趋于柔和,有望改善ZnO/Si界面特性,从而应用于μc-Si薄膜太阳电池.