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摘要:
介绍了在微波等离子体CVD装置中,用甲烷和氢气作为原料,在非平面基体(如钨丝、钻头、铣刀等)上生长金刚石薄膜的研究.在金刚石沉积过程中,由于"尖端效应",在基体的尖端很难沉积出金刚石膜.在采用金属丝屏蔽后,克服了"尖端效应99,成功地在非平面基体上沉积出了金刚石膜.用扫描电镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)分析了金刚石膜的形貌和质量.结果表明:非平面基体不同位置金刚石的晶形不同,晶粒比较细小,膜的质量较高.
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文献信息
篇名 微波等离子体CVD法在非平面基体上生长金刚石膜
来源期刊 工具技术 学科 工学
关键词 非平面基体 金刚石薄膜 微波等离子体CVD法
年,卷(期) 2008,(2) 所属期刊栏目 试验与研究
研究方向 页码范围 12-14
页数 3页 分类号 TG5
字数 2439字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-7008.2008.02.003
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 汪建华 123 698 14.0 19.0
2 满卫东 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 45 370 11.0 16.0
3 谢鹏 13 110 6.0 10.0
4 孙蕾 7 73 4.0 7.0
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研究主题发展历程
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金刚石薄膜
微波等离子体CVD法
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
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工具技术
月刊
1000-7008
51-1271/TH
大16开
成都市府青路二段24号
62-32
1964
chi
出版文献量(篇)
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