微波等离子体CVD法在非平面基体上生长金刚石膜

• 作者: 孙蕾 汪建华 满卫东 谢鹏
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非平面基体 金刚石薄膜 微波等离子体CVD法
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TG5
• 字数: 2439字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2008.02.003

摘要

介绍了在微波等离子体CVD装置中,用甲烷和氢气作为原料,在非平面基体(如钨丝、钻头、铣刀等)上生长金刚石薄膜的研究.在金刚石沉积过程中,由于"尖端效应",在基体的尖端很难沉积出金刚石膜.在采用金属丝屏蔽后,克服了"尖端效应99,成功地在非平面基体上沉积出了金刚石膜.用扫描电镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)分析了金刚石膜的形貌和质量.结果表明:非平面基体不同位置金刚石的晶形不同,晶粒比较细小,膜的质量较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华		123	698	14.0	19.0
2	满卫东	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	45	370	11.0	16.0
3	谢鹏		13	110	6.0	10.0
4	孙蕾		7	73	4.0	7.0