一种单片集成电容式压力传感器的设计、制造和测试

• 作者: 王斌 秦明 黄庆安 黄晓东
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单片集成 电容式压力传感器 接口电路
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 578-580
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1853字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.011

摘要

提出了一种新型电容式压力传感器.在外加压力下,该传感器的极板面积、间距以及介质层介电常数均发生改变,并导致电容发生变化.同时介绍了接口电路的设计,该电路基于电容-频率转换原理.该传感器结构简单,实现了与CMOS接口电路集成.传感器采用标准CMOS工艺与后处理工艺相结合的方式制造.结果表明,在800 hPa到1 100 hPa的压力范围,传感器灵敏度约为44 fF/hPa,接口电路的分辨率为3.77 Hz/hPa.