热超声倒装键合换能系统多模态振动与有限元分析

• 作者: 吴运新 钟掘 隆志力 韩雷
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多模态振动 换能系统 有限元分析 热超声倒装键合工艺
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 255-260
• 页数: 6页
• 分类号: TN14
• 字数: 3925字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2008.02.009

摘要

研究了热超声倒装键合设备的核心执行机构--换能系统的动力学特性.利用激光多谱勒测振仪测试系统末端各方向的振动速度,发现系统以轴向振动为主,但受到其他非轴向振动的干扰.非轴向振动对芯片造成芯片倾斜、键合强度降低等负面影响.采用有限元方法对换能系统建模,仿真计算发现换能系统振动是各方向振动的耦合结果,且工作模态附近存在多种干扰模态.最后分析了系统多模态产生的根源并提出抑制方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟掘	中南大学机电工程学院	145	2500	26.0	41.0
2	吴运新	中南大学机电工程学院	184	1824	22.0	31.0
3	隆志力	中南大学机电工程学院	34	285	10.0	16.0
4	韩雷	中南大学机电工程学院	78	614	14.0	20.0