一种测量硬质薄膜残余应力的新方法

• 作者: 华伟刚 孙超 宫骏 李家宝 杜昊 赵升升
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质薄膜 残余应力 测量方法 剥层曲率半径法
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 125-128
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.222
• 字数: 3403字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2008.01.023

摘要

提出了一种测量硬质薄膜残余应力的新方法--剥层曲率半径法,并设计了一套光杠杆系统,可以精确测量镀膜洋品因薄膜存在残余应力而造成试片弯曲的曲率半径,从而计算出薄膜的残余应力.通过对仪器测量误差的考察和电弧离子镀(Ti,Al)N薄膜残余应力的测定,证明了该方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙超	中国科学院金属研究所	126	1708	23.0	34.0
2	宫骏	中国科学院金属研究所	52	464	12.0	20.0
3	杜昊	中国科学院金属研究所	24	169	8.0	11.0
4	华伟刚	中国科学院金属研究所	6	90	4.0	6.0
5	李家宝	中国科学院金属研究所	13	113	6.0	10.0
6	赵升升	中国科学院金属研究所	2	17	1.0	2.0