MEMS可编程光栅动态驱动电路的研制

• 作者: 乔大勇 梁庆 苑伟政 虞益挺
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS可编程光栅 高压运放 驱动电路 自激
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 680-683
• 页数: 4页
• 分类号: TN721
• 字数: 2652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.037

摘要

MEMS可编程光栅的工作性能很大程度依赖于驱动电路的性能.本文根据MEMS可编程光栅的工作特点及结构参数,提取出光栅的等效电容值,并采用集成高压运放研制出一种新型的MEMS可编程光栅的动态驱动电路.为了避免自激振荡的发生,电路中采用了频率补偿和并联反馈电容的方法,有效提高了电路的稳定性.实际电路经过测试,其动态性能与PSPICE10仿真的结果非常吻合.该动态驱动电路具有高的电压输出范围(0～180 V),较高的频率响应(10 kHz),大范围容性负载能力(1～1 000 pF),完全能够满足MEMS可编程光栅动态复杂控制的需要.