(Bi3.7Dy0.3)(Ti2.8V0.2)O12铁电薄膜的制备及退火影响

• 作者: 周益春 唐俊雄 唐明华 张俊杰 杨锋 郑学军
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: BDTV铁电薄膜 溶胶-凝胶 表面形貌 铁电性
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(新型半导体材料)
• 页码范围: 106-108,175
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2263字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.02.004

摘要

铁电材料在铁电存储器等领域具有良好的应用前景,受到极大的关注,其中铋层状铁电薄膜因为其良好的铁电性,得到了广泛的研究.采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底成功沉积出(Bi3.7Dy0.3)(Ti2.8V0.2)O12(BDTV)的A、B位同时掺杂的铁电薄膜,发现这种双掺能够显著改善薄膜的铁电性.研究了650～800℃不同退火温度下,BDTV铁电薄膜的铁电性能、晶体结构及表面形貌变化.通过SEM分析发现,温度为750℃时,薄膜的颗粒生长较好,薄膜的铁电性能最佳.