基于波面剪切干涉原理测量微细台阶高度

• 作者: 惠梅 杨佩原 赵跃进 邓年茂
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 波面剪切 台阶高度 偏振干涉 波面剪切 分光棱镜
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 244-245,248
• 页数: 3页
• 分类号: O436.2|O436.1|TH706
• 字数: 1487字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2008.02.029

摘要

提出了利用波面剪切干涉原理测量微细结构台阶高度的方法.通过在微分相衬干涉系统光路中加入偏振分光棱镜,实现了对光束的微分剪切及复合偏振.利用矩阵分析法建立了该测量系统的数学模型,根据探测到的光强信息图,由光强与干涉相位差间的关系式提取到了测量区域的相位分布值,由位相与待测物纵向深度间的转换关系式,经图像重建后通过计算得到了台阶的表面高度信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	惠梅	北京理工大学信息科学技术学院光电工程系	12	36	4.0	5.0
2	赵跃进	北京理工大学信息科学技术学院光电工程系	73	640	13.0	21.0
3	杨佩原		3	9	2.0	3.0
4	邓年茂		8	29	4.0	5.0