微电子工艺实验教学模式探索

• 作者: 刘声雷 宣晓峰 尤玉 张彦 杨文华 杨明武 梁齐 汪壮兵 王莉 陈士荣
• 来源期刊: 实验室科学
• 学科: 教育
• 关键词: 微电子工艺 实验教学 模式
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 41-42
• 页数: 2页
• 分类号: G42
• 字数: 2472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4305.2008.01.017

摘要

采用微电子工艺实验教学模式,即工艺实验教学由实际操作的工艺实验、工艺录像学习、器件与工艺仿真实验和多媒体辅助实验教学组成,阐述了具体内容.这种微电子工艺实验教学模式的建立,可满足本专业对微电子工艺实验的教学要求,有助于提高专业教学质量、提高学生的实际工作能力和专业素质、培养有竞争力的高质量的微电子人才.