影响MEMS压控电容变化范围的因素分析

• 作者: 丁芳 曹天捷
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 压控电容 微梁静力分析 静电场力 介质
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 固体电子器件及电路
• 页码范围: 786-790
• 页数: 5页
• 分类号: TN602
• 字数: 2480字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2008.03.012

摘要

采用静电场力作用下二维三阶段微梁的静力分析模型,分析了影响两侧下拉电极MEMS压控电容可控范围的因素,这些因素包括:驱动电极的位置、电容极板的初始间隙、电容极板长度、介质层的厚度、介质的介电常数等,通过分析可以了解各因素对MEMS压控电容性能的影响以及这些因素之间的一些相互制约关系.分析结果可望能为两侧下拉电极MEMS压控电容的设计提供一些理论指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹天捷	中国民航大学交通工程学院	14	36	3.0	5.0
2	丁芳	中国民航大学航空自动化学院	18	71	5.0	8.0