类金刚石膜的制备、性能及应用

• 作者: 张晶 范真
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 制备 性能 应用
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与工艺
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TG7
• 字数: 3767字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2008.05.015

摘要

介绍了类金刚石膜的结构、制备方法和发展现状,综述了DLC膜的机械、电子、光学和生物学性能以及在这些领域中的应用状况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范真		61	532	11.0	20.0
2	张晶		22	34	3.0	5.0