双定子静电微电机控制系统的信号检测研究

• 作者: 刘武 张卫平 张忠榕 陈文元
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 静电微电机 互相关检测 直接数字频率合成 锁定放大
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 18-20,23
• 页数: 4页
• 分类号: TM38
• 字数: 2369字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.05.006

摘要

介绍了一种基于悬浮转子微陀螺的双定子轴向静电微电机控制系统的信号检测方法,它对实现悬浮转子旋转驱动的闭环控制尤为重要,其主要特点是采用互相关检测-锁定放大、DSP控制直接数字频率合成(DDS)产生正弦波,并通过实际正弦波发生电路和系统仿真验证其可行性,这些提供了解决微小电容检测在实际电路实现上的一些关键问题的办法,为实际电路参数选择提供重要参考.