钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
工业技术期刊
\
无线电电子学与电信技术期刊
\
半导体技术期刊
\
GaN外延材料测试技术的研究
GaN外延材料测试技术的研究
作者:
刘岳巍
张志国
杨勇
闫德利
陈宏江
高蒙
高金环
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
氮化镓
高电子迁移率晶体管
霍尔测试
原子力显微镜
摘要:
分别用金属In和Ti/Al/Ni/Au合金层制备GaN HEMT结构外延片的霍尔测试电极,并对样品进行霍尔测试.发现In金属与外延片形成非欧姆接触,Ti/Al/Ni/Au合金层与外延片形成良好的欧姆接触.用电化学C-V方法测试样品,得到的载流子浓度与合金电极制备的样品经霍尔测试得到的载流子浓度一致,从而验证了此种霍尔测试方法的准确性,为GaN外延材料的测试提出了准确可行的测试方法.
暂无资源
收藏
引用
分享
推荐文章
气压对 PLD 法在AlN/Si 上外延生长的GaN性能的影响?
气压
脉冲激光沉积
GaN
基于RHEED图像外延GaN基薄膜表面晶格演变分析
高能电子衍射仪
氮化镓
薄膜
晶格
GaN核辐射探测器材料与器件研究进展
GaN
核探测器
金属有机化学气相淀积
氢化物气相外延
GaN微波器件转移特性脉冲测试研究
转移特性
脉冲
静态工作点
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
GaN外延材料测试技术的研究
来源期刊
半导体技术
学科
工学
关键词
氮化镓
高电子迁移率晶体管
霍尔测试
原子力显微镜
年,卷(期)
2008,(5)
所属期刊栏目
封装、测试与设备
研究方向
页码范围
422-424
页数
3页
分类号
TN307|TN304.054
字数
1159字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1003-353X.2008.05.015
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
高金环
中国电子科技集团公司第十三研究所
11
12
2.0
2.0
2
张志国
中国电子科技集团公司第十三研究所
17
48
5.0
5.0
3
陈宏江
中国电子科技集团公司第十三研究所
7
21
2.0
4.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(3)
共引文献
(1)
参考文献
(3)
节点文献
引证文献
(2)
同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
1982(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1994(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1998(2)
参考文献(1)
二级参考文献(1)
2002(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2006(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2008(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2012(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2013(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
氮化镓
高电子迁移率晶体管
霍尔测试
原子力显微镜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体技术
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1003-353X
CN:
13-1109/TN
开本:
大16开
出版地:
石家庄179信箱46分箱
邮发代号:
18-65
创刊时间:
1976
语种:
chi
出版文献量(篇)
5044
总下载数(次)
38
总被引数(次)
24788
期刊文献
相关文献
1.
气压对 PLD 法在AlN/Si 上外延生长的GaN性能的影响?
2.
基于RHEED图像外延GaN基薄膜表面晶格演变分析
3.
GaN核辐射探测器材料与器件研究进展
4.
GaN微波器件转移特性脉冲测试研究
5.
电感耦合等离子体刻蚀GaN材料的工艺研究
6.
GaN受激喇曼散射谱研究
7.
原子力显微镜在GaN研究中的应用
8.
带有AlN插入层的GaN薄膜的结构及应变研究
9.
GaN微波功率器件热阻测试结果影响因素分析
10.
新型光电材料GaN的离子束辐照改性与结构分析
11.
SiC衬底上外延GaN:Mg材料特性研究
12.
P型GaN和AlGaN外延材料的制备
13.
GaN核辐射探测器的性能研究
14.
MOCVD外延生长高阻GaN薄膜材料
15.
GaN微电子器件的研究进展
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
半导体技术2022
半导体技术2021
半导体技术2020
半导体技术2019
半导体技术2018
半导体技术2017
半导体技术2016
半导体技术2015
半导体技术2014
半导体技术2013
半导体技术2012
半导体技术2011
半导体技术2010
半导体技术2009
半导体技术2008
半导体技术2007
半导体技术2006
半导体技术2005
半导体技术2004
半导体技术2003
半导体技术2002
半导体技术2001
半导体技术2000
半导体技术1999
半导体技术2008年第9期
半导体技术2008年第8期
半导体技术2008年第7期
半导体技术2008年第6期
半导体技术2008年第5期
半导体技术2008年第4期
半导体技术2008年第3期
半导体技术2008年第2期
半导体技术2008年第12期
半导体技术2008年第11期
半导体技术2008年第10期
半导体技术2008年第1期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号