大规模真空蒸镀二氧化钛薄膜及其表征

• 作者: 孙法 彭晓光 曹开斌 汪洋
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2 薄膜制备 真空蒸镀 亲水性
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1770-1773
• 页数: 4页
• 分类号: TQ134
• 字数: 3062字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2008.11.002

摘要

采用大型真空镀膜设备在玻璃基底上蒸镀二氧化钛(TiO2)薄膜,并对TiO2薄膜进行了SEM、AFM、XRD、紫外可见光吸收光谱、亲水性的测试及分析,探讨了退火温度对薄膜性能的影响.结果表明制备的TiO2薄膜具有良好的均匀性.在室温条件下,TiO2薄膜具有无定型的结构;在300～500℃的条件下,TiO2薄膜退火2h后以锐铁矿晶型为主,600℃退火的TiO2薄膜明显向金红石型转变.随退火温度的升高,薄膜对紫外光和可见光的吸收有明显提高,并出现了明显的红移现象.另外,亲水性也随退火温度的升高而变强,500和600℃退火的TiO2薄膜表面出现超亲水性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪洋	浙江理工大学材料与纺织学院	21	121	8.0	10.0
3	孙法	浙江理工大学材料与纺织学院	6	24	3.0	4.0
6	彭晓光	浙江理工大学材料与纺织学院	2	9	1.0	2.0
7	曹开斌	浙江理工大学材料与纺织学院	2	13	2.0	2.0