基于高精度预对准的硅片传输控制系统

• 作者: 宋亦旭 李世昌 杨泽红 赵雁南
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 预对准 硅片传榆 控制系统
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 微电子技术
• 页码范围: 116-120
• 页数: 5页
• 分类号: TP24|TN2
• 字数: 3084字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2008.10.023

摘要

高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一.首先介绍了预对准单元的设计及实现:预对准机构包括旋转台、对心台和升降台,采用线阵CCD作为传感器进行硅片边缘检测,采用圆拟合方法进行硅片圆心和缺口的定位,对预对准方法的有效性进行了试验验证.然后,给出了硅片传输系统的构成和控制流程,并对系统定位另一个关键部分计算硅片偏心的-重定位环节进行了简要介绍.最后,给出了输片重复精度的试验结果.试验结果表明,在此预对准单元基础上实现的硅片传输系统可以有效提高输片精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋亦旭	清华大学计算机系智能技术与系统国家重点实验室信息科学与技术国家实验室	13	204	8.0	13.0
2	赵雁南	清华大学计算机系智能技术与系统国家重点实验室信息科学与技术国家实验室	26	415	11.0	20.0
3	杨泽红	清华大学计算机系智能技术与系统国家重点实验室信息科学与技术国家实验室	16	371	10.0	16.0
4	李世昌	清华大学计算机系智能技术与系统国家重点实验室信息科学与技术国家实验室	2	5	1.0	2.0