AZ31镁合金表面磁控溅射SiNx薄膜的性能研究

• 作者: 罗先盛 黄佳木
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: SiNx薄膜 磁控溅射 镁合金 腐蚀
• 年，卷（期）: 2008,（z3）
• 所属期刊栏目: 结构功能材料
• 页码范围: 384-386
• 页数: 3页
• 分类号: TG1
• 字数: 3389字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法在AZ31镁合金表面沉积了SiNx薄膜.用场发射扫描电镜、X射线衍射、X光电子能谱等研究分析了薄膜的晶体结构、表面形貌和化学成分.实验结果表明,所制备的SiNx薄膜为非晶态的富N膜;SiNx薄膜可显著降低AZ31在3.5%的NaCl溶液中的腐蚀电流密度,膜厚为1.5靘时,在阳极极化区出现钝化现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄佳木	重庆大学国家镁合金材料工程技术研究中心	84	690	13.0	20.0
5	罗先盛	重庆大学材料科学与工程学院	3	11	2.0	3.0