硫化的激光器腔面上溅射ZnS钝化膜的研究

• 作者: 么艳平 刘春玲 王春武 薄报学
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体激光器 光学灾变损伤(COD) 钝化 硫化 ZnS
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1150字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.01.004

摘要

提出了一种新的激光器腔面钝化方法.先用(NH4)2S溶液硫化解理后的激光器腔面,然后使用磁控溅射方法对激光器的前腔面镀ZnS钝化膜、后腔面镀Si/SiO2高反射膜.ZnS钝化层光学厚度为λ/4,在中心波长为808 nm处透过率可达95.5%.钝化前激光器的光学灾变损伤(COD)阈值为1.6 W,钝化后为2.0 W,提高了25%倍;未镀膜的激光器阈值电流为0.25 A,经硫化再镀ZnS后阈值电流为0.20 A,降低了20%.实验结果表明,经硫化后溅射ZnS对激光器腔面具有良好的钝化和增透效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王春武	吉林师范大学信息技术学院	29	139	6.0	10.0
2	刘春玲	长春理工大学高功率半导体激光器国家重点实验室	64	177	7.0	9.0
6	薄报学	长春理工大学高功率半导体激光器国家重点实验室	44	252	9.0	14.0
7	么艳平	长春理工大学高功率半导体激光器国家重点实验室	6	48	4.0	6.0